近日，东方晶源发布消息称，首台8英寸关键尺寸量测装备（CD-SEM）出机，并交付给知名集成电路制造和整体方案提供商燕东微电子。不得不说，这是一大好消息，意义重大，也彻底打消了ASML阻扰。
8英寸CD-SEM究竟这是什么样的一个产品？它的出现又有何作用和意义？为什么说打消了ASML阻扰
8英寸CD-SEM是什么？CD-SEM是特征尺寸测量用扫描高分辨率的电子显微镜，主要是用来测量光刻胶图形的尺寸。
国内首台8英寸CD-SEM，是东方晶源生产的8英寸关键尺寸量测设备，型号是“SEpA-c”。这款产品，是基于东方晶源12英寸CD-SEM的技术积累，面向90nm以上技术节点的成熟工艺，也是生产出8英寸晶圆的必备机器之一。
它的作用和意义一、主要作用
8英寸CD-SEM主要用来测量光刻胶图形的尺寸，可以满足客户对不同产品线、多种应用场景下的量测需求。它的作用，有利于生产8英寸晶圆，即8英寸单晶硅圆片，代表着利于生产8英寸半径芯片的晶圆材料。
同时，8英寸硅片应用范围较为广泛，一般包括：各种电源芯片、摄影/指纹识别等传感器、智能硬件中的MCU、智能卡与无线通信芯片等。基本上，它涵盖了消费类电子、通信、计算、汽车与工业等领域，趋向于智能化产品应用。
因此，8英寸CD-SEM作用还是十分广泛的，协助生产出不同需求的8英寸晶圆，最终的产品可以用于很多领域。
二、意义重大
8英寸CD-SEM的作用就是有利于8英寸晶圆生产，而目前对于这类晶圆的需求，是在不断的扩大的。
需求大于供给的背景
伴随着物联网逐渐兴起，人工智能进入成熟发展阶段，一些智能装置的需求变得更多了。这就需要更多的智能芯片、指纹识别传感器、智能设备MCU等，从而带动了8英寸（mm)工艺制造的芯片需求，因此让8英寸的晶圆需求也不断扩大了。
随着需求的扩大，近年来，分立器件、功率器件、MEMS、模拟芯片等产品需求切换至8英寸晶圆，导致其供应越发紧张。因此，各大晶圆代工厂都一直在扩充产能，例如：台积电和三星。总之，自年下半年开始，8寸硅片的需求开始超过产能，并且很多旧机器（基本运行了10年以上）需要迫切更新。
因此，此次这款最新的8英寸CD-SEM，是有利于解决8英寸晶圆量产问题，可以说它交付的意义十分重大。
为什么说打消了ASML的阻扰？大家应该还记得，今年2月份，荷兰光刻机制造企业ASML，突然指责东方晶源侵犯了其知识产权。当时，ASML给出的理由是：东方晶源是XTAL的母公司，而XTAL曾经被ASML指侵权并获取了赔偿，因此推断东方晶源在国内销售可能存在侵权的产品。
虽然，这件事一直以来ASML拿不出任何证据，但ASML还是要求部分客户暂停与东方晶源的业务往来。
对于这样的事情，东方晶源已表态说：全部产品均拥有自主知识产权，ASML所言不实。
表态过去还不到2个月时间，东方晶源就出机了最新的8英寸CD-SEM，再次用实力打脸ASML。东方晶源本次新机交付，将进一步夯实其在电子束检测、量测市场的领先地位，也足以证明其研发实力的雄厚。
因此，无论ASML是指责也好，或者取消了部分业务往来也好，都无法阻止能够自主研发的科企的发展。
结束语一个能够自给自足的科技企业，就不会怕别人泼脏水，一切以实力说话，自然会让“黑的”变成“白的”。
当然，东方晶源在展现自身技术实力的同时，也为8英寸晶圆的供给出了一份力量，更是为国内芯片领域贡献了一份力量。新产品的出现，也将为国内电子束检测、量测领域增添了一份竞争力，是一项重大的科技成果。
对此，你怎么看呢？
